五軸車銑復(fù)合中心是復(fù)合加工機(jī)床中發(fā)展快、使用廣泛的數(shù)控設(shè)備。機(jī)床復(fù)合化是機(jī)床發(fā)展的重要方向之一。復(fù)合機(jī)床又包括車銑復(fù)合、車銑磨復(fù)合、銑磨復(fù)合、切削與3D打印復(fù)合、切削與超聲振動(dòng)復(fù)合、激光與沖壓復(fù)合等多種多樣的形式,復(fù)合的目的就是讓一臺機(jī)床具有多功能性,可一次裝夾完成多任務(wù),提高加工效率和加工精度.
五軸車銑復(fù)合中心的優(yōu)勢
與常規(guī)數(shù)控加工工藝相比,復(fù)合加工具有的突出優(yōu)勢主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面。
?。?)縮短產(chǎn)品制造工藝鏈,提高生產(chǎn)效率。車銑復(fù)合加工可以實(shí)現(xiàn)一次裝卡完成全部或者大部分加工工序,從而大大縮短產(chǎn)品制造工藝鏈。這樣一方面減少了由于裝卡改變導(dǎo)致的生產(chǎn)輔助時(shí)間,同時(shí)也減少了工裝卡具制造周期和等待時(shí)間,能夠顯著提高生產(chǎn)效率。
?。?)減少裝夾次數(shù),提高加工精度。裝卡次數(shù)的減少避免了由于定位基準(zhǔn)轉(zhuǎn)化而導(dǎo)致的誤差積累。同時(shí),車銑復(fù)合加工設(shè)備大都具有在線檢測的功能,可以實(shí)現(xiàn)制造過程關(guān)鍵數(shù)據(jù)的在位檢測和精度控制,從而提高產(chǎn)品的加工精度。
?。?)減少占地面積,降低生產(chǎn)成本。雖然車銑復(fù)合加工設(shè)備的單臺價(jià)格比較高,但由于制造工藝鏈的縮短和產(chǎn)品所需設(shè)備的減少,以及工裝夾具數(shù)量、車間占地面積和設(shè)備維護(hù)費(fèi)用的減少,能夠有效降低總體固定資產(chǎn)的投資、生產(chǎn)運(yùn)作和管理的成本。
通過復(fù)合中心的復(fù)合是一種間接復(fù)合過程,這種復(fù)合過程是決定Si、Ge等間接能帶結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體中少數(shù)載流子壽命的基本過程。而復(fù)合中心雜質(zhì)往往都是一些原子半徑較小的金屬元素,很容易進(jìn)入半導(dǎo)體中去;故為了保證少數(shù)載流子具有足夠長的壽命,就應(yīng)該在制作器件的工藝過程中特別注意清潔度,以確保不讓復(fù)合中心雜質(zhì)造成污染。
半導(dǎo)體表面本身就是一種大缺陷,故半導(dǎo)體器件和集成電路在制作好之后,需要對器表面進(jìn)行很好的保護(hù)處理,以減弱表面復(fù)合中心的影響,這實(shí)際上也就是所謂表面鈍化技術(shù)的主要目的之一。
五軸車銑復(fù)合中心所引起的間接復(fù)合過程,通常要比導(dǎo)帶與價(jià)帶之間的直接復(fù)合過程慢得多,這是由于復(fù)合過程既需要滿足能量守恒、也需要滿足動(dòng)量守恒的緣故。對于直接能帶半導(dǎo)體(如GaAs),其少數(shù)載流子壽命主要決定于直接復(fù)合過程,所以這種半導(dǎo)體的少數(shù)載流子壽命本來就很短。而Si、Ge等中少數(shù)載流子的直接復(fù)合壽命較長(因?yàn)閷?dǎo)帶底與價(jià)帶頂不在Brillouin區(qū)的相同點(diǎn)上),則壽命主要決定于間接復(fù)合過程,故與復(fù)合中心濃度的關(guān)系很大。